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      螺桿真空泵是通過泵腔內一對作等速反向旋轉螺桿的作用，吸入并排出被抽氣體而形成高真空。無油螺桿真空泵螺桿輪廓型線是由阿基米德螺旋線和擺線曲線及圓弧等構成。

非耀螺桿真空泵

      在螺桿旋轉時，二個螺桿之間、螺桿和無油螺桿真空泵泵體之間都保持一定的間隙且互不接觸，因而運轉時泵的摩擦損失很小，摩擦消耗功率小，且可以實現(xiàn)高轉速運轉，被抽氣體被平順地壓送到排氣口并排至泵外。通過泵二側的密封機構確保齒輪箱內的潤滑油無法進入泵的吸氣腔內。泵與電機均為臥式結構，泵采用聯(lián)軸器與電機直聯(lián)，整機安裝在同一機架上。為了減少泵的排氣噪聲，泵的排氣口裝有消聲器。

      無油螺桿真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

      1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

      2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

      3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求；

      4、在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止溶劑造成污染，適合用無油螺桿真空泵；

      5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

無油螺桿真空泵用在化工減壓蒸餾

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