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螺桿真空泵在使用過(guò)程中要想一個(gè)較好的抽氣效果，就要保證良好的真空條件，當(dāng)自身設(shè)備滿足不了條件，而又沒(méi)有更換設(shè)備的條件時(shí)，對(duì)于體積小、放氣速率和漏氣速率都小的LGB螺桿真空泵被檢件，可直接與檢漏儀的外接法蘭連接進(jìn)行檢漏，無(wú)需輔助真空系統(tǒng)。

非耀干式螺桿真空泵

對(duì)于漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連接時(shí)，檢漏儀的真空度可能抽不上去，使檢漏儀無(wú)法工作。要在此種情況下進(jìn)行檢漏，只有調(diào)節(jié)節(jié)流閥，使之稍稍開(kāi)啟，但這又會(huì)使反應(yīng)時(shí)間加長(zhǎng)。此外，LGB螺桿真空泵初次抽真空時(shí)，其中的水氣、油蒸氣等都可能污染檢漏儀，因此也需要有輔助真空系統(tǒng)。輔助系統(tǒng)由前級(jí)泵、次級(jí)泵、閥門、真空規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔等組成。次級(jí)泵可用擴(kuò)散泵或羅茨泵，前級(jí)泵用氣鎮(zhèn)式機(jī)械泵。

有些LGB螺桿真空泵檢漏儀本身帶有一系列閥門，借助于這些閥門便可用檢漏儀的抽氣系統(tǒng)對(duì)小型的、放氣與漏氣都不大的被檢件完成預(yù)抽和檢漏工作，而不需另加輔助抽氣系統(tǒng)。但是，從保持檢漏儀靈敏度的穩(wěn)定性的觀點(diǎn)來(lái)看，不要用儀器本身的真空泵進(jìn)行預(yù)抽。國(guó)外有些檢漏儀附有一個(gè)輔助抽氣系統(tǒng)，使用時(shí)較為方便。

檢漏儀與輔助系統(tǒng)的連接方式有兩種情況，兩種方式的特點(diǎn)各不相同。在對(duì)清潔的沒(méi)有大漏的LGB螺桿真空泵進(jìn)行檢漏時(shí)，檢漏儀應(yīng)接在前級(jí)（低真空）一側(cè)；反之，對(duì)于被污染了的容器，要在有大漏的悄況下找出小漏時(shí)，檢漏儀應(yīng)處于高真空一側(cè)。連接檢漏儀的位置應(yīng)該是使儀器和被檢件之間的流導(dǎo)為大，使進(jìn)人檢漏儀中的氮濃度較高。