熱門關(guān)鍵詞: 水環(huán)真空泵 旋片式真空泵 杭州真空設(shè)備 真空設(shè)備廠
半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展迅速,目前,中國有全球規(guī)模的,且增長迅速的集成電路消費市場,這也離不開中國消費市場和國家對產(chǎn)業(yè)政策扶持,國內(nèi)集成電路制造企業(yè)也加大建廠投資,因此,憑借螺桿泵優(yōu)勢其設(shè)備又火了起來。
螺桿泵優(yōu)勢是成為了半導(dǎo)體各制程中需要通用設(shè)備的關(guān)鍵,應(yīng)用于單晶拉晶、測試等清潔或嚴苛制程。半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中所需的真空系統(tǒng),具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能,因此干式螺桿真空泵是非常好的選擇。
干式真空泵應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵優(yōu)勢在于:解決了工藝過程污染油或油搭載進入尾氣處理系統(tǒng)的風(fēng)險;不會產(chǎn)生廢物、或者污染寶貴的溶劑、產(chǎn)品或環(huán)境;它是完全干燥的,對上下游工藝沒有任何污染;干式真空泵中不會發(fā)生任何腐蝕;效率更高,耗電更少;吸入的溶劑或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收。
非耀螺桿真空泵還具有,真空度≤5Pa,抽氣速度快百分之30,20000小時無故障運行,環(huán)保0煩惱。以上是非耀螺桿泵用于半導(dǎo)體行業(yè)的簡單介紹,也了解了螺桿泵優(yōu)勢特點,如您需要了解更多,請聯(lián)系非耀在線客服人員。
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