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干式真空泵是指泵能在大氣壓下開始抽氣，并能直接將抽出的氣體排入大氣的設(shè)備。泵腔內(nèi)沒有油或其他工作介質(zhì)。然而，在設(shè)備的使用中，許多用戶并不知道干式真空泵應(yīng)用范圍，對(duì)此，本文將詳細(xì)介紹。

非耀干式無油螺桿真空泵

1、在低壓化學(xué)氣相沉積的多晶硅制備過程中，

2、半導(dǎo)體蝕刻工藝，在這些生產(chǎn)過程中經(jīng)常使用或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨粒；

3、對(duì)于除半導(dǎo)體工藝外的一些產(chǎn)生顆粒的工藝，不希望顆?；烊氡糜椭校Ｍw粒從泵中排出；

4、干式真空泵應(yīng)用在化學(xué)工業(yè)、制藥工業(yè)、食品工業(yè)、蒸餾、干燥、消泡、包裝等方面。防止有.機(jī)溶劑造成的污染，適用于真空泵；

5.用作一般無油清洗真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，防止油污染。

LGB70無油螺桿真空泵用在有機(jī)硅生產(chǎn)工藝

以上是干式真空泵應(yīng)用范圍的介紹，根據(jù)介紹，我們可以清楚地了解設(shè)備的使用和選擇，從而更好地實(shí)現(xiàn)使用效率，避免對(duì)設(shè)備造成任何損壞。非耀是一家干式螺桿真空泵廠家，生產(chǎn)的干式真空泵型號(hào)齊全，提供干式真空泵選型服務(wù)，為用戶分憂。