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干式螺桿泵又稱無油螺桿泵，無油無水干式運行的特性，在很多應(yīng)用場合達到了理想的使用效果，工作容積中無油，更加耐用，可靠。那么一起來看看，干式螺桿泵應(yīng)用具體都有哪些吧。

圖片標(biāo)簽：干式螺桿泵應(yīng)用

1、用于低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。

2、干式螺桿泵用于半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。

3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用干式螺桿真空泵可以滿足要求。

4、干式螺桿泵應(yīng)用于化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止溶劑造成污染。

5、無油螺桿泵也可以用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

干式螺桿泵應(yīng)用在多個領(lǐng)域中，維護少，更加省時省力，同時也減少了污染的危害。杭州非耀真空泵生產(chǎn)廠研發(fā)制造的螺桿真空泵，真空度高，單泵可替代三級羅茨泵水環(huán)真空泵機組，運行穩(wěn)定，占地面積小。