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羅茨真空泵工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣， 空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間中去，使氣體壓強突然增加。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。

羅茨真空泵工作原理圖

如圖為羅茨真空泵工作原理圖，當轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣過程。在0°位置時，下轉(zhuǎn)子從泵入口封入體積的氣體。當轉(zhuǎn)到45°位置時，該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強較高，引起一部分氣體返沖過來。當轉(zhuǎn)到90°位置時，下轉(zhuǎn)子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外。這時，上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入體積的氣體。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時，上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通，重復上述過程。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個體積的氣體。

羅茨真空泵工作原理決定了其在使用的使用，需要用到前級泵。關(guān)于羅茨真空泵選型問題，如果您想要繼續(xù)了解，歡迎來電咨詢。