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羅茨真空泵是兩個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，通過齒輪比為1的一對齒輪帶的運動，進行相互反向的同步旋轉運動。 在轉子之間，轉子和泵殼內壁之間有一定的間隙，可以高速運轉。泵室內運動部件無摩擦，不需潤滑，泵室內無油。轉子形狀對稱，動平衡性能良好，運行順暢，選擇高精度齒輪傳動，運行時噪音低，可獲得高轉速(提升速度)。羅茨真空泵的結構概略圖如下。

羅茨泵的抽氣特性，在一定的壓力范圍內有很大的抽氣速度。抽氣過程中其工作空間的容積不變，即“無內壓縮”，這與很多可變容量式真空泵不同。所以需要前級泵。羅茨泵的真空度除了取決于泵自身的結構和制造精度之外，還取決于前段泵的真空度。為了提高泵的真空度，可以串聯(lián)使用羅茨泵。當轉子的頂部轉動排氣口的邊緣，封閉空間與排氣側相通時，由于排氣側的氣體壓力高，一部分高壓氣體被推到封閉空間，使空間內的氣體壓力突然上升到排氣壓力，即所謂的“外壓縮過程”。 轉子持續(xù)旋轉時，氣體排出泵外。

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